粒径0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の捕集効率をもつフィルタです。

半導体工場、精密工場等のスーパークリーンルームの最終フィルタとして使用します。

形状はセパレータタイプ・ミニプリーツタイプ(薄型)があります。

関東産企では様々な要望に応えるため、多風量・発ガス対策などのULPAフィルタを提供しております。さらにULPAフィルタに比べて、捕集効率をさらに一桁高めた超ULPAフィルタも扱っております。